- 光刻
- 刻蚀
- 沉积
- 扩散
迪恩机床半导体产业
加工解决方案
半导体产业 解决方案
为了制造出细微的结构，半导体产业需要加工复杂多样的材料以及较高的加工精度。迪恩机床为每道工序提供了专门的加工解决方案，为确保半导体的质量和
稳定性做出了贡献。
- 客户至上
迪恩机床秉承着顾客至上的原则， 在多样化生产要求的情况下都能够为客户提供合适的服务及多种不同的加工解决方案。
- 半导体设备产
业的信赖每年韩国IT产业所需的80%以上*的 机床是由迪恩机床提供的。
- 对材料和加工
的理解不论是应用于半导体设备的陶瓷材料、 还是不锈钢和钛等难切削的加工材料， 迪恩机床都拥有适合的加工解决方案。
- 完善的售前/
售后服务수주 전부터 납품까지 고객과의
지속적인 협의를 통해 요구사항을
반영하고, 철저한 기한 준수와
납품 이후의 책임감 있는 서비스는
DN솔루션즈만의 차별화된
강점입니다.
迪恩机床半导体产业
迪恩机床为加工精度要求较高的真空设备制造提供了多种解决方案。
真空装置 : 迪恩机床为加工精度要求极高的真空设备制造提供了多种解决方案。
晶圆传输系统 : 传送系统是将晶圆精准、快速、安全地传送到各种设备之间的系统，是半导体制造的核心要素之一。
迪恩机床为加工精度要求极高的晶圆传输系统制造提供了多种解决方案。
喷射/清洗/加热 :
氧化
抛光/
金属化
金属化
Workpiece Solution
-
腔体 腔体加工特征- 重切削
- 机械耐久性要求
- 不休息连续加工大型加工品的情
况较多 - 精密度 ：需要保持真空
- 主要材料 : 不锈钢 / 铝
NHM series 特征- 卧式加工中心
- 高刚性设计·重切削(NHM)·高生产率(NHP)
DCM II series 特征- 多功能龙门式加工中心
- 高刚性·大型工作台·高生产率
高刚性设计
高刚性床身结构- 通过 FEM 技术保持高稳定性和耐用性；
该系列采用 M 和 W 型床身结构，
提供了床身整体的稳定性，确保了强力切削。
高生产率
采用滑枕式主轴和鞍座结构，以支持重型切削- 拥有同类产品中 高刚性的硬轨，及横截面为
380 x 380mm滑枕端面，可确保水平方向上任何工件负载下
的优秀重型切削性能。
-
法兰 / 夹具 法兰 / 夹具加工特征- 高精密度
- 应对内径加工
- 应对多种多样的形状
- 主要材料 : 不锈钢 / 陶瓷铝 / 铬镍
铁合金
PUMA 2100Y Ⅱ 特征- 国际标准车削中心
- 高速·强力切削·高生产率
Mynx II series 特征- 重型立式加工中心
- 高刚性·强力切削·高生产率
内径车削
内径车削 PUMA GT2100 PUMA GT2600 PUMA GT3100 切削速度 270m/min 270m/min 280m/min 进给速度 0.3mm/rev 0.3mm/rev 0.3mm/rev 主轴转速 1131r/min 1131r/min 849r/min 切削深度 3mm 3mm 3mm 刀具长度 (长度/直径)- PUMA GT2100 : 3.5D
- PUMA GT2600 : 3.5D
- PUMA GT3100 : 4.0D
改良的主轴结构
双端面刀具夹紧系统- 该系统凭借主轴的弹性变形和精确厚度控制，
实现锥度侧的同步双端面接触。.
-
密封件 / 波纹管 密封件 / 波纹管加工特征- 高精密度
- 应对多种多样的形状
- 主要材料 : 不锈钢 / 陶瓷 /铝 / 铬镍
铁合金
宽加工区
工作台尺寸(AxB)- DNM 4500/L1000{1050} x 450 mm
- DNM 5700/L1300{1050} x 570 mm
- DNM 6700/L/XL1500{1600/2200} x 670 mm
工作台最大承重量- DNM 4500/4500L 600 kg
- DNM 5700/5700L 1000 kg
- DNM 6700/6700L/6700XL 1300 kg
切削性能切削性能 切削量 (cm³/min) 主轴转速 (r/min) 进给速率 Face mill (Ø80mm)
Carbon steel (SM45C)527 1500 2700 
Face mill (Ø80mm)
Aluminium (AL6061)1901 1500 5490 
End mill (Ø30mm)
Carbon steel (SM45C)48 222 107 
U-Drill (Ø50mm)
Carbon steel (SM45C)501 1500 155 
攻丝 碳钢 (SM45C) 攻丝尺寸(mm) M 36 x P 4.0 221 884 
-
真空泵转子轴 真空泵转子轴加工特征- 高刚性
- 要求高精密度
- 偏心加工
- 主要材料 : 金属
工程应用
伺服马达驱动的自动换刀装置title 加工能力 (单位 : mm) 
机型 最大刀具直径 x 最大刀具长度 换刀时间(12kg以内) BT / CT / DIN HSK 机型 刀具到刀具 切屑到切屑 NHM 5000 320 x 530 320 x 600 NHM 5000 2 秒 6.4 秒 NHM 6300 320 x 630 320 x 700 NHM 6300 6.7 秒 NHM 8000 320 x 630 320 x 700 NHM 8000 8 秒 - 自动换刀装置可以安装25kg~30kg的刀具，
通过伺服马达驱动，快速的刀具Indexing和主轴
定位，实现了快速的刀具更换。
重切削
强力主轴- 在较大程度内减少了主轴在高速旋转时发生的振
动和发热，采用快速的加减速结构设计，从一般
的零部件到非铁金属，都能发挥优秀的切削性能。
主轴冷却装置- 通过冷却装置维持均衡的主轴温度。
-
石英舟/环 石英舟/环加工特征- 脆性强，加工时需要注意
- 加工时，通过热处理加固材料
- 小口径孔加工中心
- 主要材料 : 石英
行程
行程 (X x Y x Z轴)- DNM 4500/L800{910} x 510 mm
- DNM 5700/L1050{1300} x 570 x 510 mm
- DNM 6700/L/XL1300{1500/2100} x 670 x 625 mm
主轴
最高主轴转速- 8000/12000/15000 r/min
最大主轴电机功率- 18.5 kW
最大主轴扭矩- 117.8 N·m {8000/12000/15000 r/min}
- 286 N·m {8000 r/min 高扭矩规格}
-
石英环 石英环加工特征- 高精密磨削加工
- 最大加工直径 Ø300~550mm 级别
(半导体晶圆300mm级为准) - 加工后粉尘及粉末处理
- 主要材料 : 石英、碳化硅、陶瓷
削加工
Grinding- ① 外槽(Groove)磨削
- ② 外端面(End face)磨削
- ③ 面(Face) 磨削
- ④ 内攻丝(Taper)磨削
- ⑤ 内曲面(Curve)磨削
- ⑥ 内磨削
- ⑦ 内槽(Groove)磨削
C轴功能
孔加工功能 (C轴控制)- 增加了C轴控制功能，把原先需由铣床单独执行
的孔磨削加工工艺增加到一台设备上，
更加便捷快速。 - ① 半圆槽加工
- ② ③ 孔加工④ 键槽切割
-
机械臂 机械臂加工特征- 脆性强，加工时需要注意
- 可灵活应对多种形状
- 主要材料 : 多种陶瓷
行程行程 (X x Y x Z轴)- DNM 4500/L800{910} x 510 mm
- DNM 5700/L1050{1300} x 570 x 510 mm
- DNM 6700/L/XL1300{1500/2100} x 670 x 625 mm
主轴最高主轴转速- 8000/12000/15000 r/min
最大主轴电机功率- 18.5 kW
最大主轴扭矩- 117.8 N·m {8000/12000/15000 r/min}
- 286 N·m {8000 r/min 高扭矩规格}
-
加热器 加热器加工特征- 高硬度
- 要求高精密度
- 需要细小切屑飞散对策
- 主要材料 : 氮化铝
-
喷头 喷头加工特征- 要求高精密
- 反复位置精密度
- 高速主轴 :应对孔粗糙度和细小切屑
- 主要材料 : 硅
-
喷头 喷头加工特征- 高硬度
- 要求高精密度
- 需要细小切屑飞散对策
- 主要材料 : 铝
MP 6500 特征- 高端高精密立式加工中心
- 高速·高精密·细小切屑防护
龙门式结构
龙门式机械结构非常适合高速进给•高精密加
工，以热对称结构和缩小Over hang设计，
实现高精密加工。行程- X轴 1100 mm, Y轴 650 mm, X轴 550 mm
推荐选项- 主轴中心出水
- 光栅尺
- 油润滑
高刚性 • 高可靠度主轴
采用新的静压预压结构，与既有的主轴相比，提
高了低速领域的刚性，大幅提高了高速旋转寿命。最高主轴转速- 20000 {15000/30000/40000} r/min
最大主轴电机功率- 22/11 kW
主轴种类及刀具规格主轴种类及刀具规格 20000 r/min 15000 r/min 30000 r/min 30000 r/min 最大主轴电机功率 (kW) 22/11 37/22 18.5/13 5.5/3.7 刀具规格 BBT 40 BBT 40 HSK-F63 HSK-E40 -
硅环 硅环加工特征- 要求高精密度
- 需要细小切屑飞散对策
- 旋转工作台
- 主要材料 : 硅、陶瓷、石英
主轴标配直联主轴，改进了噪音和振动，生产能力、作业环境、加工精度都得到提升，可以选择高扭矩主轴和高速主轴。
最高主轴转速- 8000/12000/15000 r/min
最大主轴电机功率- 18.5 kW
最大主轴扭矩- 117.8 N·m {8000/12000/15000 r/min}
- 286 N·m {8000 r/min 高扭矩规格}
快速移动速度
快速移动速度 (X / Y / Z轴)- DNM 4500/5700/6700/6700L36/36/30 m/min
- DNM 6700XL30/30/30 m/min
封装
- 晶圆
切割 - 引线缝合
- 注塑
- 打标
- 成型
切割
Workpiece Solution
-
探针卡 探针卡加工特征- 陶瓷材料
- 微细孔用激光等进行加工
- 主要材料 : 陶瓷
加工详情
- 机械加工范围
- 激光加工范围
小口径孔加工小口径孔加工 切削量 (cm³/min) 主轴转速 (r/min) 进给速率 平面铣刀 (ø80 mm, 切削边数量:6),
碳钢(SM45C)374.4 500 1950 
钻孔 (ø50 mm)
碳钢 (SM45C)265.07 500 135 
攻丝 碳钢 (SM45C) 攻丝尺寸(mm) M 36 x P 4.0 265 1060 
- ISO #40 : Mynx 5400 II 的切削测试结果
(8000r/min, 直接驱动, 15/11kW)
-
测试插座 测试插座加工特征- 小型零部件
- 要求高精密
- 反复位置精密度
- 高速主轴 :应对孔粗糙度和细小切屑
- 主要材料 : 工程塑料, 聚醚醚
(PEEK)
-
注塑成型模具 注塑成型模具加工特征- 要求高精密度
- 为了均匀注入注塑成型
液体，需要微细孔加工 - 主要材料 : 金属
宽加工区工作台尺寸(AxB)- DNM 4500/L1000{1050} x 450 mm
- DNM 5700/L1300{1050} x 570 mm
- DNM 6700/L/XL1500{1600/2200} x 670 mm
工作台最大承重量- DNM 4500/4500L 600 kg
- DNM 5700/5700L 1000 kg
- DNM 6700/6700L/6700XL 1300 kg
多种多样的主轴最高主轴转速- 8000/12000/15000 r/min
最大主轴电机功率- 18.5 kW
最大主轴扭矩- 117.8 N·m {8000/12000/15000 r/min}
- 286 N·m {8000 r/min 高扭矩规格}
-
框架 框架加工特征- 大型零部件加工
- 主要材料 : 金属
DBC series 特征- 一般零部件加工用龙门机/镗铣床
- 高刚性·高生产率·大型工作台
适合加工大型零部件
A. 行程(X x Y轴)- BM 1530 : 3000 x 1550 mm
- BM 2035 : 3500 x 2050 mm
- BM 2740 : 4000 x 2700 mm
- BM 1530 & BM2035 & BM2740 :
Z轴 800mm
B. X/Y/Z轴 行程- 4000 / 2500/ 2000 mm
工件最大直径 (未装防溅罩时)- DBC 130Ⅱ / 250Ⅱ Ø3900 mm
- DBC 130LⅡ / DBC 160 / L / 250 LⅡ
Ø4800 mm
全球范围的韩国IT产业
DN Solutions 通过提供韩国 IT 行业所需的技术、知识和解决方案，为韩国半导体行业的全球发展做出了贡献。
Korea's Semiconductor Industry 全球范围的韩国半导体产业
Semiconductor Solution 韩国的
半导体产业
半导体产业
2018年韩国半导体产业
DRAM销售额 732亿 4千万美元
NAND 销售额 288亿 9千万美元
2018年韩国半导体设备产业
设备销售额 177.1亿美元
- 27.4% 2018年 D RAM
Market Share - 45.6% 2018年 NAND闪存
Market Share - 74.5% 2018年 世界半导体设备市场
Market Share
IT Industry of DN Solutions 迪恩机床和韩国IT产业
- 8000台
2年间在韩国IT产
业内销售的设备 - 80%
韩国IT产业内 M/S
- 90%
Top 20的企业中使用
用迪恩机床设备加工
的零配件的企业。
