DN Solutions

DN Solutions
Halbleiter-Lösungsreferenz

Halbleiterindustrie

Für die Herstellung von Produkten mit feinen Strukturen erfordert die Halbleiterindustrie eine extrem hohe Präzision und eine vielfältige und
komplexe Werkstoffbearbeitung. DN Solutions trägt zu Qualität und Stabilität von Halbleitern bei, indem spezialisierte Lösungen für
jeden Prozess bereitgestellt werden.

Der Kunde zuerst
Bei uns kommen die Kunden
immer zuerst, und wir bieten
Ihnen einzigartige Lösungen an,
um unter allen Bedingungen stets
die besten Ergebnisse zu erzielen.
Das Vertrauen der
Halbleiterausrüst
ungsindustrie
Jedes Jahr liefert DN Solutions
mehr als 80%* der Werkzeug-
maschinen, die auf dem
koreanischen Markt für die
Herstellung von Halbleiteranlagen
eingesetzt werden.
Werkstoff und
Herstellung
verstehen
DN Solutions bietet optimale
Lösungen für verschiedene
Werkstoffe, von Keramik bis hin zu
schwer zerspanbaren Werkstoffen wie Edelstahl und Titan.
Sorgfältiges
Management des
gesamten
Prozesses
Wir bieten den besten Full-Process-
Service, von der Qualifizierung vor der Bestellung bis zur termingerechten
Lieferung bei ständiger Berücksichtigung
der Kundenbedürfnisse, sowie einen umfassenden Service nach der Lieferung.

Semiconductor Solution Reference

Erleben Sie effizientere und optimierte Bauteile durch die maßgeschneiderten Lösungen von DN Solutions.

Vorprozess Postprozess

Vakuumausrüstung

Transfersystem

Aufspreizen/Reinigen/Aufwärmen

Vakuumausrüstung :
DN Solutions bietet verschiedene Lösungen für die Herstellung von Vakuumgeräten, die ein sehr hohes Maß an Präzision erfordern.

Transfersystem :
Das Wafer-Zuführungssystem transportiert Wafer auf präzise, schnelle und sichere Weise zwischen verschiedenen Anlagen und ist eines der
Schlüsselelemente der Halbleiterfertigung. DN Solutions bietet Lösungen für die Herstellung von Systemkomponenten für die Wafer-Zuführung,
die höchste Präzision erfordern.

Aufspreizen/Reinigen/Aufwärmen

Oxidierung

Stepper-
Belichtung
Ätzung
Abscheidung
Diffusion

Polieren /
Metallisierung

Workpiece Solution

Kammer
Kammer
Bearbeitungsmerkmale

Bearbeitungsmerkmale

Anforderungen an die Standzeit der Maschine

Es gibt viele Fälle, in denen große Werkstücke
kontinuierlich und ohne Unterbrechung
bearbeitet werden.

Präzision: Erfordert die Vakuumhaltung

Hauptwerkstücke : Rostfreier Stahl/
Aluminium
NHM series

Merkmale

Horizontales Bearbeitungszentrum

Hohe Steifigkeit der Konstruktion - Schwere Zerspanung (NHM) - Hohe Produktivität (NHP)

Hohe Steifigkeit der Konstruktion
DCM II series

Merkmale

Mehrzweck-Bearbeitungszentrum in Türform

Hohe Produktivität, hohe Steifigkeit, großer
Tisch

Hohe Produktivität
Hohe Steifigkeit der Konstruktion
Hochsteife Bettstruktur

Ist mit Hilfe der FEM-Technologie auf hohe
Stabilität und Haltbarkeit ausgelegt; die
Struktur mit M- und W-Rippen ermöglicht
ein kontinuierliches, kraftvolles Zerspanen.
Hohe Produktivität
Ram-Spindel- und Sattelstruktur für den Einsatz bei
der leistungsstarken Bearbeitungsmerkmale

Ausreichend hohe Zerspanungsleistung bei
jeder horizontalen Bearbeitungslast durch eine
Kastenführung mit quadratischer Struktur, die
eine stabile, hohe Steifigkeit gegen thermische
Verformung und die größte Ram-
Querschnittsfläche von 380×380 mm in ihrer
Klasse bietet.

Merkmale

Horizontales globales Standarddrehzentrum
Schnelles, kraftvolles Schneiden ·
hohe Produktivität

Innendurchmesser Drehkapazität

Merkmale

Leistungsstarkes vertikales
Bearbeitungszentrum für die
Schwerzerspanung
Hohe Steifigkeit, kraftvolle Zerspanung, hohe Produktivität

Verbesserte Spindelstruktur

Innendurchmesser Drehkapazität
	PUMA GT2100	PUMA GT2600	PUMA GT3100
Schnittgeschwindigkeit	270m/min	270m/min	280m/min
Vorschub	0.3mm/rev	0.3mm/rev	0.3mm/rev
Spindeldrehzahl	1131r/min	1131r/min	849r/min
Spantiefe	3mm	3mm	3mm

Werkzeuglänge (L x T)

PUMA GT2100 : 3.5D
PUMA GT2600 : 3.5D
PUMA GT3100 : 4.0D

Merkmale

Vertikales, globales
Standardbearbeitungszentrum
Hohe Geschwindigkeit,
hohe Produktivität,
einfache Maschinenbedienung

Großer Bearbeitungsbereich Bearbeitungskapazitäten

title
	Spanungskapazität (cm³/min)	Spindeldrehzah (r/min)	Vorschubrate
Planfräser (Ø80mm) Kohlenstoffstahl (SM45C)	527	1500	2700
Planfräser (Ø80mm) Aluminium (AL6061)	1901	1500	5490
Schaftfräser (Ø30mm) Kohlenstoffstahl (SM45C)	48	222	107
U-Bohrer (Ø50mm) Kohlenstoffstahl (SM45C)	501	1500	155
Gewindeschneider Kohlenstoffstahl (SM45C)	Gewindebohrer Größe(mm) M 36 x P 4.0	221	884

Merkmale

Horizontales Bearbeitungszentrum
Hohe Steifigkeit, schwere Zerspanung ·
Anwendungstechnik

Anwendungstechnik schwere Zerspanung

Anwendungstechnik
Modell	Max. Werkzeugdurchmesser x Max. Werkzeuglänge		Werkzeugwechselzeit (weniger als 12 kg)
Spanungskapazität Einheit: mm (Zoll)
Modell	BT / CT / DIN	HSK	Modell	Nur Werkzeug	Nur Chip
NHM 5000	320 x 530	320 x 600	NHM 5000	2 s	6.4 s
NHM 6300	320 x 630	320 x 700	NHM 6300		6.7 s
NHM 8000	320 x 630	320 x 700	NHM 8000		8 s

Automatische Werkzeugwechselvorrichtung mit

Das Werkzeugwechselsystem kann Gewichte von
25 kg bis 30 kg bei hoher Geschwindigkeit mit Hilfe
eines Servomotors, der schnellen
Werkzeugindexierung und Spindelpositionierung
handhaben.

Quarzboot / Ring
Quarzboot / Ring
Bearbeitungsmerkmale

Bei der Bearbeitung ist aufgrund der
starken Sprödigkeit Vorsicht geboten.

Werkstoffverstärkung mit Wärmebehandlung
zwischen den Bearbeitungen

Zentriert auf die Bearbeitung
von Löchern mit geringem Durchmesser

Hauptwerkstücke : Quartz
DNM series

Merkmale

Nach globalen Standards ausgeführtes
vertikales Bearbeitungszentrum

Hohe Geschwindigkeit, hohe Präzision -
hohe Produktivität

Vorschubweg Spindel
Vorschubweg
Vorschubweg (X x Y x Z-Achse)

DNM 4500/L800{910} x 510 mm

DNM 5700/L1050{1300} x 570 x 510 mm

DNM 6700/L/XL1300{1500/2100} x 670 x 625 mm
Spindel
Max. Spindeldrehzahl

8000/12000/15000 r/min
Max. Leistung des Spindelmotors

18.5 kW
Max. Drehmoment des Spindelmotors

117.8 N·m {8000/12000/15000 r/min}

286 N·m {8000 r/min Version mit hohem Drehmoment}
Quartz Ring
Quartz Ring
Bearbeitungsmerkmale

Hochpräzisions-Schleifbearbeitung

Maximaler Bearbeitungsdurchmesser
von Ø 300 bis 550 mm
(basierend auf einem 300 mm Halbleiter-Wafer)

Staub- und Schlammbehandlung nach
der Bearbeitung

Hauptwerkstücke : Quarz, SiC, Keramik
XG 600/800 with ATC

Merkmale

Quarz- und Keramikschleifmaschinen

Hochpräzisions-Schleifbearbeitung ·
einfache Schlammreinigung
· C-Achsenfunktion
(integrierter Bohrungsbearbeitungsprozess)

Hochpräzisions-Schleifbearbeitung C-Achsenfunktion
Hochpräzisions-Schleifbearbeitung
Grinding

① Außendurchmesser Rillenschleifen

② Außendurchmesser Stirnseitenschleifen

③ Stirnseitenschleifen

④ Innendurchmesser Kegelschleifen

⑤ Innendurchmesser Kurvenschleifen

⑥ Innendurchmesser

⑦ Innendurchmesser Rillenschleifen
C-Achsenfunktion
Bearbeitung von Bohrungen
(C-Achsensteuerung)

CDurch Hinzufügen der C-Achsen-
Steuerfunktion können Bohrungsverfahren, die
zuvor in einem getrennten Durchgang von einer
Fräsmaschine durchgeführt wurden, jetzt
bequem und schnell an einem einzigen Gerät
bearbeitet werden.

① Halbkreisförmige Rillenschneiden

② ③ Lochbearbeitung④ Schneiden von
Keilnuten
Roboterarm
Roboterarm
Bearbeitungsmerkmale

Bei der Bearbeitung ist aufgrund
der starken Sprödigkeit Vorsicht
geboten.

Erfordert die flexible Anpassung
an verschiedene Formen

Hauptwerkstücke : Verschiedene
Keramiken
DNM series

Merkmale

Nach globalen Standards ausgeführtes
vertikales Bearbeitungszentrum

Hohe Geschwindigkeit,
hohe Produktivität,
einfache Maschinenbedienung

Vorschubweg Spindel
Vorschubweg
Vorschubweg (X x Y x Z-Achse)

DNM 4500/L800{910} x 510 mm

DNM 5700/L1050{1300} x 570 x 510 mm

DNM 6700/L/XL1300{1500/2100} x 670 x 625 mm
Spindel
Max. Spindeldrehzahl

8000/12000/15000 r/min
Max. Leistung des Spindelmotors

18.5 kW
Max. Drehmoment des Spindelmotors

117.8 N·m {8000/12000/15000 r/min}

286 N·m
{8000 r/min Version mit hohem Drehmoment}

Heizung
Heizung
Bearbeitungsmerkmale

Hohe Härte

Hohe Präzisionsanforderungen

Erforderliche Maßnahmen gegen das
Verstreuen von feinen Spänen

Hauptwerkstücke : AIN
VX 6500C

Merkmale

Vertikales Bearbeitungszentrum für die
Keramikbearbeitung

Hohe Geschwindigkeit, hohe Präzision ·
Mikrochip-Schutz

Basisstruktur hohe Präzision
Basisstruktur
Max. Spindeldrehzahl

12000{20000/30000/40000} r/min
Vorschubweg

X-Achse 1050mm, Y-Achse 650mm,
X-Achse 550mm
Schnelle Vorschubrate

X-Achse 30 m/mim, Y-Achse 30 m/mim,
X-Achse 30 m/mim
hohe Präzision
Ermöglicht eine qualitativ hochwertige und
hochpräzise Bearbeitung mit glättender
thermischer Verschiebungskompensation
von Spindel und Struktur
Ausgleich der statischen Verschiebung der Spindel

Kompensiert die durch die Ausdehnung der
Spindelwelle bei hohen Drehzahlen verursachten Positionsänderungen des
Werkzeugs.
Kompensation der thermischen
Verschiebung der Struktur

Kompensiert unregelmäßige
Verformungen oder Ausdehnungen
der Struktur aufgrund der
Umgebungstemperatur mit Hilfe
mehrerer Temperatursensoren.
Sprühkopf
Sprühkopf
Bearbeitungsmerkmale

Hohe Präzisionsanforderungen

Wiederholung der Positionsgenauigkeit

Hochgeschwindigkeitsspindel:
Bohrungsrauhigkeit und Feinspanverhalten

Hauptwerkstücke : Si
T 4000HS

Merkmale

Ultraschnelles, hochproduktives Gewindeschneidzentrum

Hohe Geschwindigkeit, kompakt ·
hohe Produktivität

Hochgeschwindigkeitsbearbeitungslösung hohe Präzision
Hochgeschwindigkeitsbearbeitungslösung
Drehzahl der Hauptspindel

24000 r/min
Einsatz einer neuen Patrone Ölschmierung für hohe Zuverlässigkeit
und Dauer Ultrapräzise Bearbeitung: FANUC 31i

Schnelle Vorschubgeschwindigkeit 48 m/min
hohe Präzision
Nach thermischer
Verschiebungskorrektur*

*T 4000, 18.000 min-1, werkinterne Messung
Standardmäßige Bereitstellung einer
Funktion zur Korrektur der
thermischen Verlagerung der Spindel

Der thermische Fehler der Spindel wird mit der
Temperaturrückmeldung der Spindel berechnet und automatisch kompensiert,
um ein Höchstmaß an Arbeitsgenauigkeit zu gewährleisten.

Merkmale

Vertikales Bearbeitungszentrum für die
Keramikbearbeitung
Hohe Geschwindigkeit, hohe Präzision ·
Mikrochip-Schutz

Panelstruktur Hochsteife Hochpräzisionsspindel Spindeltypen und
Werkzeugspezifikationen

Spindeltypen und Werkzeugspezifikationen
Klassifizierung	20000 r/min	15000 r/min	30000 r/min	30000 r/min
Spindelmotorleistung (kW)	22/11	37/22	18.5/13	5.5/3.7
Werkzeugspezifikationen	BBT 40	BBT 40	HSK-F63	HSK-E40

Si Ring
Si Ring
Bearbeitungsmerkmale

Hohe Präzisionsanforderungen

Erforderliche Maßnahmen gegen
das Verstreuen von feinen Spänen

Drehtisch

Hauptwerkstücke : Si, Keramik, Quarz
DNM series

Merkmale

Nach globalen Standards ausgeführtes vertikales Bearbeitungszentrum

Hohe Geschwindigkeit, hohe Präzision ·
Mikrochip-Schutz

Spindel Schnelle Vorschubrate
Spindel
Die direkte Spindeltyp-Anwendung wurde
standardisiert, um Produktivität, Arbeitsumgebung
und Bearbeitungsgenauigkeit durch Verbesserungen
bei Lärm und Vibration zu steigern.
Es ist möglich, zwischen Hochdrehmoment-
Spindeln und Hochgeschwindigkeits-Spindeln zu
wählen
Max. Spindeldrehzahl

8000/12000/15000 r/min
Max. Drehmoment
des Spindelmotors

18.5 kW
Max. Drehmoment des Spindelmotors

117.8 N·m {8000/12000/15000 r/min}

286 N·m {8000 r/min Version mit hohem Drehmoment}
Schnelle Vorschubrate
Schnelle Vorschubrate (X / Y / Z-Achse)

DNM 4500/5700/6700/6700L36/36/30 m/min

DNM 6700XL30/30/30 m/min

Wafer-Inspektionsgeräte

Chip-Inspektionsgeräte

Gussform

Andere Teile

Verpackung

Wafer
schneiden
Kabel
Gussfor
men
Beschrif
tung
Schneid
en von
Gussfor
men

Workpiece Solution

Merkmale

Leistungsstarkes vertikales
Bearbeitungszentrum für die Bearbeitungsmerkmale
Hohe Geschwindigkeit, kompakt ·
hohe Produktivität

Detaillierte Bearbeitung Bearbeitung kleiner Löcher

Bearbeitung kleiner Löcher
	Spanungskapazität (cm³/min)	Vorschubrate (r/min)	Vorschubrate
Planfräser(Ø80 mm, Schneidenanzahl: 6) Kohlenstoffstahl(SM45C)	374.4	500	1950
Bohrer (Ø 50 mm) Kohlenstoffstahl(SM45C)	265.07	500	135
Gewindeschneider Kohlenstoffstahl (SM45C)	Gewindegröße(mm) M 36 x P 4.0	265	1060

Ergebnis des Spantests auf der Mynx 5400Ⅱ (8000 min-1, direkt, 15/11 kW)

Test-Buchse
Test-Buchse
Bearbeitungsmerkmale

Kleinteile

Hohe Präzisionsanforderungen

Wiederholung der Positionsgenauigkeit

Hochgeschwindigkeitsspindel:
Reaktion auf Lochrauhigkeit und feine Späne

Hauptwerkstücke : Technischer Kunststoff /PEEK
T 4000HS

Merkmale

Ultraschnelles, hochproduktives Gewindeschneidzentrum

Hohe Geschwindigkeit/hohe Produktivität/kompakt ·
Bearbeitung feiner Löcher

Hochgeschwindigkeitsbearbeitungslösung Steigerung der Produktivität
Hochgeschwindigkeitsbearbeitungslösung
Drehzahl der Hauptspindel

24000 r/min
Einsatz einer neuen Patrone Ölschmierung für hohe Zuverlässigkeit
und Dauer Ultrapräzise Bearbeitung: FANUC 31i

Schnelle Vorschubgeschwindigkeit 48 m/min
Steigerung der Produktivität

Gussformwerkzeug
Gussformwerkzeug
Bearbeitungsmerkmale

Hohe Präzisionsanforderungen

Erfordert die Bearbeitung feiner
Bohrungen, die eine gleichmäßige
Einspritzung der Gießflüssigkeit ermöglichen.

Hauptwerkstücke : Metall
DNM series

Merkmale

Nach globalen Standards ausgeführtes vertikales Bearbeitungszentrum

Hohe Geschwindigkeit, hohe Produktivität,
hohe Präzision

Großer Bearbeitungsbereich Bearbeitungskapazitäten
Großer Bearbeitungsbereich
Tischabmessungen(AxB)

DNM 4500/L1000{1050} x 450 mm

DNM 5700/L1300{1050} x 570 mm

DNM 6700/L/XL1500{1600/2200} x 670 mm
Zulässige Last

DNM 4500/4500L 600 kg

DNM 5700/5700L 1000 kg

DNM 6700/6700L/6700XL 1300 kg
Bearbeitungskapazitäten
Max. Spindeldrehzahl

8000/12000/15000 r/min
Max. Drehmoment
des Spindelmotors

18.5 kW
Max. Drehmoment des Spindelmotors

117.8 N·m {8000/12000/15000 r/min}

286 N·m {8000 r/min Version mit hohem
Drehmoment}

Rahmen
Rahmen
Bearbeitungsmerkmale

Bearbeitung großformatiger Teile

Hauptwerkstücke : Metall
BM series

Merkmale

Doppelbearbeitungszentrum für allgemeine Bearbeitungen/Horizontalbohrwerk

Hohe Steifigkeit, hohe Produktivität, großer Tisch

Für die Bearbeitung großer Teile
DBC series

Merkmale

Doppelbearbeitungszentrum für allgemeine
Bearbeitungen/Horizontalbohrwerk

Hohe Steifigkeit, hohe Produktivität, großer Tisch

Für die Bearbeitung großer Teile
Für die Bearbeitung großer Teile
A. Vorschubweg(X x Y-Achse)

BM 1530 : 3000 x 1550 mm

BM 2035 : 3500 x 2050 mm

BM 2740 : 4000 x 2700 mm

BM 1530 & BM2035 & BM2740 :
Z-Achse 800mm
B. X/Y/Z-Achse Vorschubweg

4000 / 2500/ 2000 mm
Max. Werkstückdurchmesser
(ohne angebrachten Spritzschutz)

DBC 130Ⅱ / 250Ⅱ Ø3900 mm

DBC 130LⅡ / DBC 160 / L / 250 LⅡ
Ø4800 mm

Koreas Halbleiterindustrie und DN Solutions

DN Solutions unterstützt den globalen Beitrag der koreanischen Halbleiterindustrie, indem es die Technologie, das Wissen und die Lösungen bereitstellt, die die
koreanische IT-Branche benötigt.

Korea's Semiconductor Industry Der Anteil koreanischer Halbleiter an den globalen Halbleiterunternehmen

Semiconductor Solution Halbleiterindustrie
in Korea

Koreanische Halbleiterindustrie im
Jahr 2018

DRAM-Umsatz 73,24 Mrd. USD

DAND-Einnahmen 28,89 Mrd. USD

Koreanische
Halbleiterausrüstungsindustrie
im Jahr 2018

Einnahmen aus 177.1
Mrd. USD

27.4% Marktanteil von DRAM
im Jahr 2018
45.6% Marktanteil von NAND-Flash
im Jahr 2018
74.5% Marktanteil der
Halbleiterausrüstungsindustrie
im Jahr 2018

DN Solutions und die koreanische
IT-Industrie Auswirkungen von DN-Lösungen in der koreanischen IT-Industrie

8000ST
In den letzten 2 Jahren
in der koreanischen IT-
Branche verkaufte
Ausrüstungen
80%
M/S in der
koreanischen IT-
Branche
90%
Top20-Unternehmen, die
von DN Solutions
hergestellte Teile
verwenden.

DN Solutions Halbleiter-Lösungsreferenz

Halbleiterindustrie

Semiconductor Solution Reference

Koreas Halbleiterindustrie und DN Solutions

DN Solutions
Halbleiter-Lösungsreferenz