DN Solutions

DN Solutions
Semiconductor Solution

반도체 솔루션

미세한 구조를 제조하기 위해 매우 높은 정밀도와 다양하고 복잡한 소재 가공이 요구되는 반도체산업에서
저희 DN솔루션즈는 각 공정마다 특화된 솔루션을 제공함으로써 반도체 품질 및 안정성에 기여하고 있습니다.

고객
제일주의
DN솔루션즈는 어떠한 조건에서도
최선의 결과를 낼 수 있도록 차별화된
솔루션을 제공하는 ‘고객 제일주의’를
지향하고 있습니다.
반도체 장비
산업에서의 신뢰
매년 한국 IT산업에서 소비되는
공작기계의 80% 이상*을
DN솔루션즈가 공급하고 있습니다.
소재와 가공에
대한 이해
반도체 장비에 널리 쓰이는 다양한 Ceramics 소재부터
Stainless Steel, Titanium과 같은 난삭재까지,
DN솔루션즈의 최적의 솔루션을 제공하고 있습니다.
철저한 사전 /
사후 관리
수주 전부터 납품까지 고객과의
지속적인 협의를 통해 요구사항을
반영하고, 철저한 기한 준수와
납품 이후의 책임감 있는 서비스는
DN솔루션즈만의 차별화된
강점입니다.

반도체 솔루션 레퍼런스

DN솔루션즈의 고객 맞춤 솔루션으로 기계 본연의 기능을 능가하는 더 효율적이고,
최적화 된 다양한 라인업과 가공품을 경험해보세요.

진공장치 : DN솔루션즈는 매우 높은 수준의 정밀도를 요구하는 진공장치 제조에 다양한 솔루션을 제공하고 있습니다.

웨이퍼 이송계 : 웨이퍼 이송계는 정밀하게, 빠르게, 그리고 안전하게 웨이퍼를 다양한 장비 간에 전송하는 시스템으로 반도체 제조의 핵심요소 중 하나입니다.
저희 DN솔루션즈는 최고의 정밀도를 요구하는 웨이퍼 이송계 부품 제조에 솔루션을 제공하고 있습니다.

분사/세정/히팅 : 웨이퍼 이송계는 정밀하게, 빠르게, 그리고 안전하게 웨이퍼를 다양한 장비 간에 전송하는 시스템으로 반도체 제조의 핵심요소 중 하나입니다.
저희 DN솔루션즈는 최고의 정밀도를 요구하는 웨이퍼 이송계 부품 제조에 솔루션을 제공하고 있습니다.

산화

노광
식각
증착
확산

연마/
금속배선

Workpiece Solution

Chamber
Chamber
가공특성

중절삭

기계 내구성 요구

대형 가공품을 연속으로 휴식없이 가공하는 경우 많음

정밀도 : 진공 유지 필요

주요소재 : Stainless Steel/Aluminum
NHM series

특징

수평형 머시닝 센터

고강성 디자인 · 중절삭(NHM) · 고생산성(NHP)

고강성 디자인
DCM II series

특징

다목적 문형 머시닝센터

고생산성 · 고강성 · 대형 테이블

고생산성
고강성 디자인
고강성 베드 구조

FEM 기술을 통해 높은 안정성과 내구성을 유지할 수 있도록 설계되었으며,
M형과 W형의 리브가 적용된 구조로 지속적인 강력절삭을 구현합니다.
고생산성
강력한 중절삭이 가능한 램스핀들과 새들 구조 적용

열변형에 안정적인 고강성 4각 구조의 박스 가이드웨이와
동급 최대의 램 단면적 380×380 mm을 적용하여 어떠한
수평방향의 가공부하에도 충분히 중절삭 성능을
유지합니다.

특징

글로벌 스탠다드 수평형 머시닝센터
고속 · 강력절삭 · 고생산성

내경 선삭능력

특징

강력 중절삭 수직형 머시닝센터
고강성 · 강력 절삭 · 고생산성

향상된 스핀들 구조

title
	PUMA GT2100	PUMA GT2600	PUMA GT3100
절삭속도	270m/min	270m/min	280m/min
피드	0.3mm/rev	0.3mm/rev	0.3mm/rev
스핀들 속도	1131r/min	1131r/min	849r/min
절삭깊이	3mm	3mm	3mm

공구 길이(길이/직경)

PUMA GT2100 : 3.5D
PUMA GT2600 : 3.5D
PUMA GT3100 : 4.0D

특징

글로벌 스탠다드 수직형 머시닝 센터
고속 · 고생산성 · 쉬운 장비조작

넓은 가공영역 가공능력

title
	절삭량 (cm³/min)	스핀들 회전속도 (r/min)	이송속도
Face mill (Ø80mm) Carbon steel (SM45C)	527	1500	2700
Face mill (Ø80mm) Aluminium (AL6061)	1901	1500	5490
End mill (Ø30mm) Carbon steel (SM45C)	48	222	107
U-Drill (Ø50mm) Carbon steel (SM45C)	501	1500	155
Tap Carbon steel (SM45C)	탭크기(mm) M 36 x P 4.0	221	884

특징

수평형 머시닝 센터
고강성 · 중절삭 · Application Engineering

Application Engineering 중절삭

title
기종	공구경 x 최대 공구 길이		공구 교환 시간 (12kg 미만)
가공능력 (단위 : mm)
기종	BT / CT / DIN	HSK	기종	공구에서 공구	칩에서 칩
NHM 5000	320 x 530	320 x 600	NHM 5000	2 초	6.4 초
NHM 6300	320 x 630	320 x 700	NHM 6300		6.7 초
NHM 8000	320 x 630	320 x 700	NHM 8000		8 초

서보 모터 구동의 자동 공구 교환 장치

25 kg ~ 30 kg 까지의 공구를 장착할 수 있는 자동 공구 교환 장치는 서보 모터의 구동과, 빠른 공구 인덱싱 및 스핀들 포지셔닝을 통해 빠른 공구 교환을 가능하게 합니다.

Quartz Boat / Ring
Quartz Boat / Ring
가공특성

취성이 강해 가공 시 주의 필요

가공 사이에 열처리를 통한 소재 보강

소구경 홀 가공 중심

주요소재 : Quartz
DNM series

특징

글로벌 스탠다드 수직형 머시닝센터

고속 · 고정밀 · 고생산성

이송거리 스핀들
이송거리
이송거리 (X x Y x Z축)

DNM 4500/L800{910} x 510 mm

DNM 5700/L1050{1300} x 570 x 510 mm

DNM 6700/L/XL1300{1500/2100} x 670 x 625 mm
스핀들
최대 스핀들 속도

8000/12000/15000 r/min
최대 스핀들 모터 출력

18.5 kW
최대 스핀들 모터 토크

117.8 N·m {8000/12000/15000 r/min}

286 N·m {8000 r/min 고토크 시방}
Quartz Ring
Quartz Ring
가공특성

고정밀 연삭가공

최대가공경 Ø300~550mm 수준
(반도체 웨이 300mm 급 기준)

가공 후 분진 및 슬러지 처리

주요소재 : Quartz, SiC, Ceramics
XG 600/800 with ATC

특징

쿼츠 및 세라믹 연삭 가공기

고정밀 연삭가공 · 쉬운 슬러지 청소 ·
C축 기능(홀 가공 공정 통합)

고정밀 연삭가공 C축 기능
고정밀 연삭가공
Grinding

① 외경 그루브(Groove) 연삭

② 외경 엔드 페이스(End face) 연삭

③ 페이스(Face) 연삭

④ 내경 테이퍼(Taper) 연삭

⑤ 내경 곡면(Curve) 연삭

⑥ 내경 연삭

⑦ 내경 그루브(Groove) 연삭
C축 기능
홀 가공 기능(C축 제어)

C축 제어 기능 추가를 통해 밀링 머신에서 별도공정으로 수
행하던 홀 연삭가공 공정을 한 대의 장비에서 간편하고 빠르
게 가공할 수 있습니다.

① 반달 홈 가공

② ③ Hole 가공 ④ 키 홈 가공
Robot Arm
Robot Arm
가공특성

취성이 강해 가공 시 주의 필요

다양한 형상에 유연한 대응 필요

주요소재 : 다양한 Ceramics
DNM series

특징

글로벌 스탠다드 수직형 머시닝 센터

고속 · 고생산성 · 쉬운 장비조작

이송거리 스핀들
이송거리
이송거리 (X x Y x Z축)

DNM 4500/L800{910} x 510 mm

DNM 5700/L1050{1300} x 570 x 510 mm

DNM 6700/L/XL1300{1500/2100} x 670 x 625 mm
스핀들
최대 스핀들 속도

8000/12000/15000 r/min
최대 스핀들 모터 출력

18.5 kW
최대 스핀들 모터 토크

117.8 N·m {8000/12000/15000 r/min}

286 N·m {8000 r/min 고토크 시방}

Heater
Heater
가공특성

고경도

높은 정밀도 요구

미세칩 비산 대책 요구

주요소재 : AIN
VX 6500C

특징

세라믹 가공특화 수직형 머시닝센터

고속 · 고정밀 · 미세칩 방호

기본 구조 고정밀
기본 구조
최대 스핀들 속도

12000{20000/30000/40000} r/min
이송거리

X축 1050mm, Y축 650mm, X축 550mm
급속 이송속도

X축 30 m/mim, Y축 30 m/mim,
X축 30 m/mim
고정밀
스핀들, 구조물의 Smoothing 열변위 보정에 의한 고품위 고정도
가공 실현
스핀들 정적 변위 보정

고속 회전에서 스핀들 shaft 확장에 의한 공구의 위치변화
를 보정합니다.
구조물 열변위 보정

외부 온도 변화에 따른 구조물의 불 균일한 굽힘이나 팽창
을 다수의 온도센서를 이용하여 보정합니다.
Shower head
Shower head
가공특성

고정밀 요구

반복위치정밀도

고속 스팬들 : 홀 조도 및 미세칩 대응

주요소재 : Si
T 4000HS

특징

초고속 고생산성 탭핑센터

고속 · 컴팩트 · 고생산성

고속가공 솔루션 고정밀
고속가공 솔루션
주축 속도

24000 r/min
신규카트리지 적용 오일 윤활적용으로 높은 내구성/신뢰성 확보 극미세가공 : FANUC 31i

급속 이송 48 m/min
고정밀
열단위 보정 후*

T 4000, 18000 r/min, 당사 공장측정조건임
스핀들 열변위 보정 기능 표준 제공*

스핀들의 온도를 입력 받아 보정량을 산출한 후 스핀들의
열적 편차를 자동 보정하여 가공물의 정밀도를 유지합니다.

특징

고품위 고정밀 수직형 머시닝센터
고속 · 고정밀 · 미세칩 방호

문형구조 고강성 · 고신뢰성 스핀들 스핀들 종류 및 공구 규격

title
	20000 r/min	15000 r/min	30000 r/min	30000 r/min
스핀들 모터 파워 (kW)	22/11	37/22	18.5/13	5.5/3.7
공구 규격	BBT 40	BBT 40	HSK-F63	HSK-E40

Si Ring
Si Ring
가공특성

높은 정밀도 요구

미세칩 비산 대책 요구

Rotary table

주요소재 : Si, Ceramics, Quartz
DNM series

특징

글로벌 스탠다드 수직형 머시닝센터

고속 · 고정밀 · 미세칩 방호

스핀들 급속 이송속도
스핀들
직결 타입 스핀들을 표준적용, 소음과 진동을
개선하여 생산성, 작업환경 가공정도가 모두
향상되었으며, 고토크 스핀들 및 고속스핀들
선택이 가능합니다.
최대 스핀들 속도

8000/12000/15000 r/min
최대 스핀들 모터 출력

18.5 kW
최대 스핀들 모터 토크

117.8 N·m {8000/12000/15000 r/min}

286 N·m {8000 r/min 고토크 시방}
급속 이송속도
급속 이송속도 (X / Y / Z축)

DNM 4500/5700/6700/6700L36/36/30 m/min

DNM 6700XL30/30/30 m/min

패키징

웨이퍼
절단
와이어
몰딩
마킹
몰딩
절단

Workpiece Solution

특징

강력 중절삭 수직형 머시닝센터
고속 · 컴팩트 · 고생산성

가공 상세 소구경 Hole 가공

title
	절삭량 (cm³/min)	스핀들 회전속도 (r/min)	이송속도
Face mill (ø80 mm, 날수:6) Carbon steel (SM45C)	374.4	500	1950
Drill (ø50 mm) Carbon steel (SM45C)	265.07	500	135
Tap Carbon steel (SM45C)	탭크기(mm) M 36 x P 4.0	265	1060

ISO #40 : Mynx 5400Ⅱ 테스트 결과(8000r/min, 15/11kW)

Test Socket
Test Socket
가공특성

소형 부품

고정밀 요구

반복위치정밀도

고속 스핀들 : 홀 조도 및 미세칩 대응

주요소재 : Engineering Plastic / PEEK
T 4000HS

특징

초고속 고생산성 탭핑센터

고속/고생산성 · 컴팩트 · 미세 홀 가공

고속가공 솔루션 생산성 향상
고속가공 솔루션
주축 속도

24000 r/min
신규 카트리지 적용 오일 윤활적용으로 높은 내구성/신뢰성 확보 극미세가공 : FANUC 31i

급속 이송 48 m/min
생산성 향상

Molding Die
Molding Die
가공특성

높은 정밀도 요구

몰딩 액체가 균일하게 주입될 수 있는 미세 홀
가공 요구

주요소재 : Metal
DNM series

특징

글로벌 스탠다드 수직형 머시닝센터

고속 · 고생산성 · 고정밀

넓은 가공영역 다양한 스핀들
넓은 가공영역
테이블 크기(AxB)

DNM 4500/L1000{1050} x 450 mm

DNM 5700/L1300{1050} x 570 mm

DNM 6700/L/XL1500{1600/2200} x 670 mm
허용 하중

DNM 4500/4500L 600 kg

DNM 5700/5700L 1000 kg

DNM 6700/6700L/6700XL 1300 kg
다양한 스핀들
최대 스핀들 속도

8000/12000/15000 r/min
최대 스핀들 모터 출력

18.5 kW
최대 스핀들 모터 토크

117.8 N·m {8000/12000/15000 r/min}

286 N·m {8000 r/min 고토크 시방}

Frame
Frame
가공특성

대형 부품 가공

주요소재 : Metal
BM series

특징

일반 가공용 문형 머시닝센터 / 수평형 보링 머신

고강성 · 고생산성 · 대형 테이블

대형 부품 가공에 적절
DBC series

특징

일반 가공용 문형 머시닝센터 / 수평형 보링 머신

고강성 · 고생산성 · 대형 테이블

대형 부품 가공에 적절
대형 부품 가공에 적절
A. 이송거리(X x Y축)

BM 1530 : 3000 x 1550 mm

BM 2035 : 3500 x 2050 mm

BM 2740 : 4000 x 2700 mm

BM 1530 & BM2035 & BM2740 :
Z축 800mm
B. X/Y/Z축 이송거리

4000 / 2500/ 2000 mm
공작물 최대직경 (스플래쉬 가드 미부착시)

DBC 130Ⅱ / 250Ⅱ Ø3900 mm

DBC 130LⅡ / DBC 160 / L / 250 LⅡ
Ø4800 mm